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Innovative Reaktoren und in-situ Analytik für Nano-Schutzschichten, Teilvorhaben: Chemisch selektive Schichtabbildung mit höchster Ortsauflösung : BMBF-Verbundvorhaben ; Abschlussbericht ; [Laufzeit/Berichtszeitraum: 01.03.2000 bis 28.02.2003]
röntgenfeinstrukturanalyse, elektronenmikroskopie, dünne schicht, physics, materials science, oberflächen, dünne schichten, grenzflächen (physik), werkstoffprüfung, werkstoffuntersuchung
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Record · ID 129556
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