Schlussbericht zum Teilprojekt mit dem Thema "Absolute Messung der Topographie von Kalibrier-Prüfkörpern mit einer Wellenlänge im sichtbaren Spektralbereich und Aufbau einer Scanning-Apparatur zur Topographiemessung unter Verwendung einer Messwellenlänge von 13nm" : im Verbundvorhaben "Nanometer-Optikkomponenten (NOK)"

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