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Schlussbericht zum Teilprojekt mit dem Thema "Absolute Messung der Topographie von Kalibrier-Prüfkörpern mit einer Wellenlänge im sichtbaren Spektralbereich und Aufbau einer Scanning-Apparatur zur Topographiemessung unter Verwendung einer Messwellenlänge von 13nm" : im Verbundvorhaben "Nanometer-Optikkomponenten (NOK)"

Schulz, Michael et al.
DataCite · Datasets · License: Open Access
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materialssciencephysics
oberflächenprüfung, formmessung, kalibrieren (messtechnik), werkstoffoberflächeneigenschaften, physics, materials science, experimentalphysik
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Record · ID 129676
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