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Schlussbericht für das Verbundprojekt: Integration einer gesteuerten Elektronenquelle in eine Silicium-AFM-Sonde, Teilvorhaben: Integration einer Elektronenquelle in die Silicium-AFM-Sonde mittels fokussierter Elektronen- und Ionenstrahlen : Laufzeit: 01.09.2000 - 31.12.2003
electrical engineering, physics
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