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Nanoskalige, kalibrierte Breitenmaßverkörperungen für höchstauflösende Inspektionsverfahren : Charakterisierung nanoskaliger Breitenmaßverkörperungen für UVM, LSM und AFM ; Abschlussbericht für das F&E-Förderprojekt 13N8543 ; Laufzeit: 01.01.2004 - 31.12.2005
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