Verbundprojekt LONGLIFE : Förderprogramm Mikrosystemtechnik 2000+ ; Schlussbericht zum Teilvorhaben [Mikroschwingungstechnische Belastungseinrichtung für ein optisches Messsystem zur Analyse und Sicherung der Langzeig-Zuverlässigkeit von Mikrosystemen] ; [Laufzeit: 01.11.2001 - 30.06.2005]

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