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Target- und Analysenkammer für die Oberflächenanalyse von Si-Wafern mit Laserplasma-induzierter Röntgenstrahlung : im Rahmen des Verbundprojektes "Getriggerte, punktförmige Ultrakurzpulsröntgenquellen für Analytik und Medizintechnik" ; Abschlussbericht zum BMBF-Forschungsvorhaben: 13N 7926 ; für den Zeitraum vom 01.01.2001 bis 28.02.2005
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