In-situ Prozeßkontrolle bei der Herstellung von Nanostrukturen und Schichten im Bereich atomarer Monolagen, Teilvorhaben: Grundlagen für die Echtzeit-Kontrolle bei der Quantenpunkt-Bauelementherstellung : Verbundprojekt ; Schlussbericht ; Laufzeit des Vorhabens: 01.02.2002 bis 31.01.2005

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