Germany – Miscellaneous general and special-purpose machinery – Abschluss einer Rahmenvereinbarung mit einem Unternehmen: FBH-2026-0007 Lieferung einer TEOS-basierten Zusatzkammer (PP100PECVD) an eine — Ferdinand-Braun-Institut gGmbH, Leibn

799500 RES-6811 selec-w TEN-4226 799500 t-esubm 1 CON-0718 LOT-4343 TEN-4226 false false no TPA-1044 LOT-4343 Lieferung einer TEOS-basierten Zusatzkammer an einer existierenden Oxford Plasma Pro 100 Clusteranlage 418478 CON-0718 2026-10-05+02:00 Lieferung einer TEOS-basierten Zusatzkammer an einer existierenden Oxford Plasma Pro 100 Clusteranlage 418478 Lieferung einer TEOS-basierten Zusatzkammer an einer existierenden Oxford Plasma Pro 100 Clusteranlage 418478 TEN-4226 TPA-1044 ORG-1080 29 https://www.fbh-berlin.de/ ORG-8850 Ferdinand-Braun-Institut gGmbH, Leibniz-Institut für Höchstfrequenztechnik Gustav-Kirchhoff-Straße 4 Berlin 12489 DE300 DEU 11-2100046002-96 +49 30 63922600 vergabe@terzaki.at https://www.berlin.de/sen/wirtschaft/wirtschaftsrecht/vergabekammer/ ORG-6221 Vergabekammer des Landes Berlin Martin-Luther-Str. 105 Berlin 10825 DE300 DEU t:03090138316 +49 30 90138316 vergabekammer@senweb.berlin.de false ORG-1080 Oxford Instruments GmbH Wiesbaden 65035 DE714 DEU 9110031368633 +49 06122937161 andreas.stamm@oxinst.com 00688262-2026 193/2026 2026-10-06+02:00 2.3 eforms-sdk-1.12 18c8cf6d-2631-4856-9d03-61388714cbeb eb1ee890-0d12-40d3-b78f-0426ee416f67 2026-10-05+02:00 12:50:00+02:00 01 32014L0024 can-standard DEU body-pl gen-pub ORG-8850 neg-wo-call technical Im Rahmen des EU-Projekts APECS ergänzt das Ferdinand-Braun-Institut (FBH) seine bestehende Anlagentechnik, um Prozesslinien für bipolare InP-Chiplets und GaAs-Laser-Chiplets zu etablieren und auf größere Substratdurchmesser (mindestens 150 mm und 200 mm) zu erweitern. Hierfür betreibt der Auftraggeber bereits eine hochspezialisierte Clusteranlage des Typs Oxford Instruments PlasmaPro 100, die integraler Bestandteil der bestehenden Prozess- und Reinrauminfrastruktur ist. Zur Umsetzung der erweiterten Prozessanforderungen ist die Ergänzung dieser bestehenden Anlage um eine zusätzliche TEOS-basierte PECVD-Prozesskammer vorgesehen. Diese Zusatzkammer muss vollständig in die bestehende Clusterarchitektur integriert werden und sowohl hardware- als auch softwareseitig mit der vorhandenen Anlage interoperabel sein. Die Integration umfasst insbesondere die Einbindung in das bestehende Vakuum-, Transfer- und Steuerungssystem sowie die Nutzung vorhandener Prozessrezepte, Schnittstellen und Automatisierungsabläufe. Eine Substitution der bestehenden Anlage oder eine grundlegende Anpassung der bestehenden Prozesslinie ist aus technischen und wirtschaftlichen Gründen ausgeschlossen. Die Kompatibilität innerhalb der Clusterplattform ist zwingend erforderlich, um die Prozessstabilität, Reproduzierbarkeit sowie die Reinraumbedingungen sicherzustellen. Aus objektiv nachvollziehbaren technischen Gründen kommt daher ausschließlich eine Prozesskammer in Betracht, die speziell für den Betrieb innerhalb der vorhandenen Oxford Instruments PlasmaPro 100 Clusteranlage ausgelegt ist. Eine gleichwertige Lösung anderer Hersteller ist nicht verfügbar, ohne unverhältnismäßige technische Risiken, erhebliche Integrationsaufwände oder Einschränkungen der Funktionsfähigkeit der Gesamtanlage in Kauf zu nehmen. Insbesondere wären bei Einsatz eines nicht kompatiblen Systems umfangreiche Anpassungen an der bestehenden Infrastruktur, Steuerungssoftware sowie an qualifizierten Prozessabläufen erforderlich, was den wirtschaftlichen und technischen Rahmen des Vorhabens überschreiten würde. Die ausnahmsweise Bezugnahme auf die bestehende Anlage erfolgt daher aus technischen Gründen im Sinne des § 31 Abs. 6 VgV. Die Durchführung eines Verhandlungsverfahrens ohne Teilnahmewettbewerb erfolgt auf Grundlage des § 14 Abs. 4 Nr. 2 lit. b VgV. Zur Wahrung der Transparenz wird eine EU-weite ex-ante-Transparenzbekanntmachung veröffentlicht. 242302 Abschluss einer Rahmenvereinbarung mit einem Unternehmen: FBH-2026-0007 Lieferung einer TEOS-basierten Zusatzkammer (PP100PECVD) an einer existierenden Oxford Plasma Pro 100 Clusteranlage 418478 Abschluss einer Rahmenvereinbarung mit einem Unternehmen: FBH-2026-0007 Lieferung einer TEOS-basierten Zusatzkammer (PP100PECVD) an einer existierenden Oxford Plasma Pro 100 Clusteranlage 418478 supplies 42900000 31712330 LOT-4343 eu-funds per-exa 100 price Preis Gemäß den gesetzlichen Vorgaben ORG-6221 true false fa-wo-rc none 257083 Abschluss einer Rahmenvereinbarung mit einem Unternehmen: FBH-2026-0007 Lieferung einer TEOS-basierten Zusatzkammer (PP100PECVD) an einer existierenden Oxford Plasma Pro 100 Clusteranlage 418478 Abschluss einer Rahmenvereinbarung mit einem Unternehmen: FBH-2026-0007 Lieferung einer TEOS-basierten Zusatzkammer (PP100PECVD) an einer existierenden Oxford Plasma Pro 100 Clusteranlage 418478 supplies 799500 799500 42900000 31712330 DE300 DEU 2026-10-05+02:00 48 Nach den Vorgaben der Leistungsbeschreibung 2000-01-01Z

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