DataCite
metadata only
Methoden der Defekterkennung für die 193nm- und die EUV-Technologie, Demonstrator-Entwicklung : Abschlussbericht ; Verbundprojekt: Abbildungsmethodiken für nanoelektronische Bauelemente (ABBILD), Teilvorhaben: 4, Arbeitspaket: 4300 ; Laufzeit: 01.10.2003 - 30.09.2007
Conceptio Open Archive
Analyze & explore related research in Conceptio
Connect this record directly into your research workflow or AI agent. Explore citations across open repositories, query full text, and export structured proof bundles.
This document is indexed with metadata only: full text is not available in the archive for this record. Open the official source ↗
Related documents
- Pomiary ekstraktów algowych i biosyntezowanych nanocząstek ZnO#416179
- Germany – Semiconductors – iLineStepper (ENAS-02.1) - PR1008015-3340-P — Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12 (DEU)#606150
- Germany – Semiconductors – iLineStepper (ENAS-02.1) - PR1008015-3340-P — Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12 (DEU)#606149
- Germany – Semiconductors – iLineStepper (ENAS-02.1) - PR1008015-3340-P — Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12 (DEU)#606132
- InnoRegio BioMeT - Verbundvorhaben: Entwicklung kleinserientauglicher Technologien und Anpassung der Ausrüstung zur Funktionalisierung der Oberfläche von Polyurethan als Basiswerkstoff für flexible und in Blutkontakt stehende medizinische Implantate und Devices; TeilProjekt 1 : Schlussbericht ; Berichtszeitraum: 07/2005 - 10/2006#132130
Record · ID 675082
Retrieved via Conceptio: every document is proof-bundled with source, license, and retrieval metadata.
Retrieved via Conceptio: every document is proof-bundled with source, license, and retrieval metadata.
Bring this data into your agent: Connect via MCP or API · 20 free credits to start · no card required
Read the Docs → · View CLI source on GitHub · Conceptio Open Knowledge Archive
Read the Docs → · View CLI source on GitHub · Conceptio Open Knowledge Archive