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Methoden der Defekterkennung für die 193nm- und die EUV-Technologie, Demonstrator-Entwicklung : Abschlussbericht ; Verbundprojekt: Abbildungsmethodiken für nanoelektronische Bauelemente (ABBILD), Teilvorhaben: 4, Arbeitspaket: 4300 ; Laufzeit: 01.10.2003 - 30.09.2007

Name: Methoden der Defekterkennung für die 193nm- und die EUV-Technologie, Demonstrator-Entwicklung : Abschlussbericht ; Verbundprojekt: Abbildungsmethodiken für nanoelektronische Bauelemente (ABBILD), Teilvorhaben: 4, Arbeitspaket: 4300 ; Laufzeit: 01.10.2003 - 30.09.2007
Published: 2008
License: Open Access

2008

DataCite · Datasets · License: Open Access · 2008

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electrical-engineering mechanical-engineering

electrical engineering, mechanical engineering, power engineering

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